厂务系统
气体过滤器：在厂务系统中，气体过滤器扮演着至关重要的角色，它们是确保半导体生产设施内气体纯净度的关键设备。这些气体包括用于保护生产设备和产品的氮气、氧气、氩气等惰性气体，以及用于特定工艺步骤的反应气体。气体过滤器通过精密的过滤介质，有效去除气体中的尘埃粒子、油雾、水分、有害气体及金属微粒等杂质，防止它们对生产设备造成污染，影响产品质量。
1.空气净化：
在洁净室环境中，气体过滤器被广泛应用于去除空气中的微粒和微生物，确保生产环境的洁净度达到ISO Class标准，为光刻、刻蚀、薄膜沉积等精密工艺提供无尘环境。
2.工艺气体净化：
针对半导体生产中的特定工艺气体，气体过滤器能够去除其中的有害杂质，确保气体纯净度满足工艺要求。
液体过滤器：液体过滤器在厂务系统中同样具有不可替代的作用，主要被用于去除工艺液体中的杂质和微粒，确保液体的纯净度和稳定性。这些工艺液体包括用于清洗、蚀刻、电镀、薄膜沉积等步骤的化学溶液和超纯水。
1.超纯水过滤：
在半导体生产中，超纯水被广泛应用于各种工艺步骤。液体过滤器通过多级过滤技术，去除水中的离子、微粒、有机物等杂质，确保超纯水的纯净度和电阻率满足工艺要求。
2.化学溶液过滤：
在蚀刻、电镀等工艺中，化学溶液的纯净度对产品质量至关重要。液体过滤器能够去除溶液中的不溶性杂质、金属离子等，确保溶液的纯净度和稳定性，提高工艺效果。
